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穩(wěn)定、高效 | 海浦蒙特助力半導(dǎo)體用真空泵控制
發(fā)布時間:2023-11-29


雙碳目標推動中國新能源飛速發(fā)展,太陽能光伏發(fā)電越來越貼近我們的日常生活,半導(dǎo)體行業(yè)對于真空泵控制的需求也日益增長。



在光伏電池(單晶硅和多晶硅等半導(dǎo)體材料)的制備過程中,羅茨真空泵組能夠為生產(chǎn)環(huán)境提供穩(wěn)定的真空度,從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)的穩(wěn)定性。


控制難點


1、現(xiàn)場環(huán)境惡劣,溫度高達70℃,硅粉、碳粉等超細顆粒粉塵(直徑<1微米,比水泥顆粒小100倍)干擾破壞;

2、因啟動、加速響應(yīng)慢,抽速不夠穩(wěn)定導(dǎo)致運行效率不高;

3、開放大氣時易發(fā)生過載、過流故障而停機

4、雷雨季節(jié)或供電環(huán)境惡劣時,易因瞬時停電或電壓暫降而停機,造成半導(dǎo)體生產(chǎn)損失


 

海浦蒙特HD3N-PR半導(dǎo)體真空泵專用高防護型變頻器


海浦蒙特變頻器,在應(yīng)用于羅茨真空泵組的進程中,內(nèi)外兼修,適應(yīng)市場,生產(chǎn)制造出了適應(yīng)新能源單晶硅多晶硅制備的專業(yè)產(chǎn)品。

 

外功:IP5X高防護等級結(jié)構(gòu)上:獨立風道、電纜防水接頭、高防護等級散熱風扇有效避免生產(chǎn)現(xiàn)場硅粉、碳粉等導(dǎo)電粉塵侵入,絕緣變差而導(dǎo)致的損壞



設(shè)計上:更高溫升裕量設(shè)計,確保設(shè)備長期24小時連續(xù)運轉(zhuǎn)時可靠散熱,延長設(shè)備壽命



工藝上:PCBA UV涂層,散熱器縫隙注膠密封,防堵結(jié)合,雙重保護,確保萬無一失


內(nèi)功:優(yōu)秀的軟件算法 精細的限流作用:區(qū)分加減速過程與恒速過程,與前級螺桿泵同時啟動,最大限度減小抽真空時間,保產(chǎn)增效可靠的過流抑制:確保加載、爆氣過程穩(wěn)定運行,不報故障,避免因故障導(dǎo)致真空度波動,影響產(chǎn)品質(zhì)量。

 

應(yīng)用現(xiàn)場


 



海浦蒙特HD3N-PR半導(dǎo)體真空泵專用高防護型變頻器,內(nèi)外兼修,在國內(nèi)外廣泛應(yīng)用,為不同半導(dǎo)體工藝下真空泵的穩(wěn)定、高效運行保駕護航。

 

 



 

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