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穩(wěn)定、高效 | 海浦蒙特助力半導(dǎo)體用真空泵控制
發(fā)布時(shí)間:2023-11-29


雙碳目標(biāo)推動(dòng)中國(guó)新能源飛速發(fā)展,太陽(yáng)能光伏發(fā)電越來越貼近我們的日常生活,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于真空泵控制的需求也日益增長(zhǎng)。



在光伏電池(單晶硅和多晶硅等半導(dǎo)體材料)的制備過程中,羅茨真空泵組能夠?yàn)樯a(chǎn)環(huán)境提供穩(wěn)定的真空度,從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)的穩(wěn)定性。


控制難點(diǎn)


1、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境惡劣,溫度高達(dá)70℃,硅粉、碳粉等超細(xì)顆粒粉塵(直徑<1微米,比水泥顆粒小100倍)干擾破壞;

2、因啟動(dòng)、加速響應(yīng)慢,抽速不夠穩(wěn)定導(dǎo)致運(yùn)行效率不高;

3、開放大氣時(shí)易發(fā)生過載、過流故障而停機(jī)

4、雷雨季節(jié)或供電環(huán)境惡劣時(shí),易因瞬時(shí)停電或電壓暫降而停機(jī),造成半導(dǎo)體生產(chǎn)損失


 

海浦蒙特HD3N-PR半導(dǎo)體真空泵專用高防護(hù)型變頻器


海浦蒙特變頻器,在應(yīng)用于羅茨真空泵組的進(jìn)程中,內(nèi)外兼修,適應(yīng)市場(chǎng),生產(chǎn)制造出了適應(yīng)新能源單晶硅多晶硅制備的專業(yè)產(chǎn)品。

 

外功:IP5X高防護(hù)等級(jí)結(jié)構(gòu)上:獨(dú)立風(fēng)道、電纜防水接頭、高防護(hù)等級(jí)散熱風(fēng)扇有效避免生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)硅粉、碳粉等導(dǎo)電粉塵侵入,絕緣變差而導(dǎo)致的損壞



設(shè)計(jì)上:更高溫升裕量設(shè)計(jì),確保設(shè)備長(zhǎng)期24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可靠散熱,延長(zhǎng)設(shè)備壽命



工藝上:PCBA UV涂層,散熱器縫隙注膠密封,防堵結(jié)合,雙重保護(hù),確保萬無一失


內(nèi)功:優(yōu)秀的軟件算法 精細(xì)的限流作用:區(qū)分加減速過程與恒速過程,與前級(jí)螺桿泵同時(shí)啟動(dòng),最大限度減小抽真空時(shí)間,保產(chǎn)增效可靠的過流抑制:確保加載、爆氣過程穩(wěn)定運(yùn)行,不報(bào)故障,避免因故障導(dǎo)致真空度波動(dòng),影響產(chǎn)品質(zhì)量。

 

應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)


 



海浦蒙特HD3N-PR半導(dǎo)體真空泵專用高防護(hù)型變頻器,內(nèi)外兼修,在國(guó)內(nèi)外廣泛應(yīng)用,為不同半導(dǎo)體工藝下真空泵的穩(wěn)定、高效運(yùn)行保駕護(hù)航。

 

 



 

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